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- smartec的电容式湿度传感器采用玻璃衬底的硅工艺。底层和顶层采用传导层，中间层采用对湿度敏感的聚醯亚胺。 传感介质的精确选取 是的传感器不依赖于温度而变化。传感器的顶层有网络结构。传感器把湿度转化为电容值，对湿度的响应时间小于15s，时滞非常低（小于2%RH）。目前有两种型号：330PF和180PF。
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